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两通、三通的手动气动化学柱塞阀

    在微电子行业有许多必须用到高腐蚀性及高纯度的化学品,一般都是使用昂贵的pfa材质隔膜阀,但隔膜阀必须使用昂贵且耗时的模具配合高温高压的pfa注模方式达成,过程繁复;并且隔膜阀因为必须通过狭窄的通道,通道中无可避免的死角也让研磨液的颗粒容易堵塞及聚积在窄通道内,其压力的损失较为大,流体的顺畅度较差。

M612X法兰柱塞阀

    为了克服上述技术缺陷的不足,厂家提供了一种结构合理、耐腐蚀性强、压力损失小的两通、三通的手动气动化学柱塞阀。与普通的柱塞阀相比,这种两通、三通的手动气动化学柱塞阀,结构合理,制造简单,可根据需要选择手动或气动方式带动阀芯相对阀体运动,并通过密封圈保持旋转时的封闭性,可轻易达到5万次开关保压测试(在10bar压力下都可使用);进液口与出液口之间采用多流体通道,增加流体介质的通流面积,进而降低流体介质通过柱塞阀时的流动阻力,从而可以减轻流体介质在流经该柱塞阀过程中的能量损失。


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